先端被覆ナノチューブ、走査型顕微鏡用先端被覆プローブ、これを用いた加工装置及び加工方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：三木久巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006107058
Publication number (International publication number)：2006267113
Application date： Apr. 10, 2006
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：

【目的】本発明は、ナノチューブ先端に所望の機能を付与すると共に、このナノチューブを探針として用いた走査型顕微鏡用探プローブ、これを用いた加工装置及び加工方法を提供することを目的とする。【構成】本発明は、ナノチューブ12の少なくとも一方の先端22aにコーティング膜22を形成して構成されることを特徴とし、本発明に係る走査型顕微鏡用先端被覆プローブ20は、先端被覆ナノチューブの基端部16が走査型顕微鏡用のカンチレバー4に固定されて構成されることを特徴とする。本発明に係る加工装置は、走査型顕微鏡用先端被覆プローブ20と、このプローブ20と試料24間に電圧を印加する電源26から構成され、前記コーティング膜22を金属膜で形成して金属源とし、この金属源と試料間に電圧を印加して、前記ナノチューブ先端から試料表面24aに金属原子をイオン放出することを特徴とする。【選択図】図7

Claim 1：

ナノチューブの少なくとも一方の先端にコーティング膜を形成して構成されることを特徴とする先端被覆ナノチューブ。

IPC (6)：

G01N 13/16 , G01N 13/10 , G12B 21/08 , B82B 1/00 , B82B 3/00 , G12B 21/02

FI (6)：

G01N13/16 C , G01N13/10 F , G12B1/00 601D , B82B1/00 , B82B3/00 , G12B1/00 601A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

電子装置の表面信号操作用プローブ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-116939 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
電子装置の表面信号操作用融着プローブ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-116940 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社

Cited by examiner (9)

導電性走査型顕微鏡用プローブ及びこれを用いた加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403559 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社
原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法、及びこれにより形成されたプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡、情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-203776 Applicant：キヤノン株式会社
特許第2805232号

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