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J-GLOBAL ID：200903003766707755

プラズマ生成加速装置

Inventor： 東 欣吾 ,  小田 泰嗣
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992300861
Publication number (International publication number)：1994151093
Application date： Nov. 11, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】不純物が主プラズマと共に射出されるのを抑制することができ、純度の高いプラズマを射出することのできるプラズマ生成加速装置を提供する。【構成】プラズマを生成・加速する如く、プラズマ誘電用の同軸電極1a,1bと、同軸電極1a,1b内にガスを供給するガス供給手段4,5と、同軸電極1a,1bにパルス電圧を印加するパルス電源3とを備えてなるプラズマ生成加速装置において、同軸電極1a,1bの半径方向に磁束を生じさせる如く設けられた磁気コイル5と、磁気コイル5から立ち上がりの急峻な磁束を発生させる如く設けられた開放スイッチ7とを備えている。

Claim (excerpt)：

プラズマを生成・加速する如く、プラズマ誘電用の同軸電極と、この同軸電極内にガスを供給するガス供給手段と、前記同軸電極にパルス電圧を印加するパルス電源とを備えてなるプラズマ生成加速装置において、前記同軸電極の半径方向に磁束を生じさせる如く設けられた磁気コイルと、この磁気コイルから立ち上がりの急峻な磁束を発生させる如く設けられた開放スイッチとを具備したことを特徴とするプラズマ生成加速装置。

IPC (3)：

H05H 5/00 ,  H05H 1/46 ,  H05H 1/54