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J-GLOBAL ID：200903003777100615

静電チャック

Inventor： 福留 武郎 ,  会田 比呂史 ,  三上 一彦 ,  伊東 裕見子
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998015833
Publication number (International publication number)：1999214493
Application date： Jan. 28, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】0〜50°Cの温度範囲内において、ジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られる窒化アルミニウム製静電チャックを提供する。【解決手段】被固定物吸着面5が、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスからなる静電チャック1であって、前記セラミックスが、少なくともセリウム(Ce)を酸化物換算で5〜20体積%を含むとともに、Ce3+/Ce4+の原子比を1〜3の範囲に制御することにより、0°Cから50°Cの温度範囲において体積固有抵抗が108 〜1012Ω-cmとすることができ、これにより低温域においてのジョンソン・ラーベック力による高い吸着力を得ることができる。

Claim (excerpt)：

被固定物吸着面が、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスからなる静電チャックであって、前記セラミックスが、少なくともセリウム(Ce)を含むとともに、Ce3+/Ce4+の原子比が1〜3であることを特徴とする静電チャック。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/581 ,  H02N 13/00

FI (4)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/58 104 B