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J-GLOBAL ID：200903003787885378

ステージ位置決め制御装置

Inventor： 涌井 伸二 ,  浅田 克己
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994119758
Publication number (International publication number)：1995307279
Application date： May. 10, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 装置のコストを低減する。ステージ位置決めの整定性を向上する。装置の小型化を可能にする。【構成】 定盤8上にステージ4が搭載され、それら全体を能動的除振装置が支持し、前記定盤の四隅には能動的除振装置における支持脚ch1,3が配置されている機器構成において、各支持脚に装着された加速度センサから得られる複数個の出力を定盤の運動姿勢を検出する加速度信号の運動モード抽出回路33に導き、前記加速度信号の運動モード抽出回路から前記ステージの移動方向と同一方向の前記定盤の加速度信号St を抽出し、この信号を前記ステージを駆動するドライバ15の前段に正帰還して前記ステージの位置決めを行なわせる。

Claim (excerpt)：

定盤、該定盤上に搭載されたステージ、該定盤の四隅に配置された支持脚と該支持脚の制御装置とを含み前記定盤および前記ステージを支持する能動的除振装置、前記ステージを位置決めするための位置制御系、前記各支持脚に装着された加速度センサから得られる複数個の出力を入力信号として前記定盤の運動姿勢を検出する加速度信号の運動モード抽出回路、および該加速度信号の運動モード抽出回路によって取得された前記ステージの移動方向と同一方向の前記定盤の加速度信号に対して最適な増幅度を持たせかつフィルタリング処理を行なわせるための定盤加速度フィードバック回路を備え、前記定盤加速度フィードバック回路の出力は前記ステージを駆動するドライバの前段に正帰還した状態で前記ステージの位置決めを行なわせることを特徴とするステージ位置決め制御装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G05D 3/12 305 ,  H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 515 G