Pat
J-GLOBAL ID：200903003807058325

面形状特性測定装置および面形状特性測定方法

Inventor：
中島 敏弘

About 中島 敏弘


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000157944
Publication number (International publication number)：2001330431
Application date： May. 24, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：
【要約】【課題】光ディスクの信号記録面等の円盤体の被測定面の表面形状に関する特性を正確にかつ効率的に測定することができる面形状特性測定装置および面形状特性測定方法を提供する。【解決手段】回転する円盤体の被測定面の垂直方向の速度を検出するレーザドップラー速度計11と、レーザドップラー速度計11による各測定位置での線速度と検出した垂直方向の検出速度とに基づいて、光ディスクDの各測定位置における基準面に対する回転方向の傾斜角βを算出する傾斜角算出部61と、光ディスクDの各測定位置における垂直方向の変位を算出する変位算出部60と、垂直方向の加速度を算出する加速度算出部59と、フォーカスサーボ系に発生すると予想される追従誤差量を算出する追従誤差量算出部58とを有する。
Claim 1：
回転する円盤体の被測定面の垂直方向の速度を検出する速度検出手段と、前記速度検出手段による各測定位置での線速度と検出した垂直方向の検出速度とに基づいて、前記被測定面の前記各測定位置における基準面に対する回転方向の傾斜角を算出する傾斜角算出手段とを有する面形状特性測定装置。
IPC (7)：
G01B 21/30 101 ,  G01B 11/26 ,  G01B 21/20 ,  G01B 21/22 ,  G01P 3/36 ,  G01S 17/58 ,  G11B 7/26
FI (7)：
G01B 21/30 101 F ,  G01B 11/26 Z ,  G01B 21/20 Z ,  G01B 21/22 ,  G01P 3/36 E ,  G01S 17/58 ,  G11B 7/26
F-Term (52)：
2F065AA35 ,  2F065AA46 ,  2F065BB03 ,  2F065BB16 ,  2F065CC03 ,  2F065DD00 ,  2F065FF00 ,  2F065FF64 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL12 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065RR06 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F069AA54 ,  2F069AA66 ,  2F069AA71 ,  2F069CC07 ,  2F069GG07 ,  2F069GG20 ,  2F069HH09 ,  2F069HH15 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM26 ,  2F069NN00 ,  2F069NN02 ,  2F069NN05 ,  2F069NN06 ,  2F069NN08 ,  5D121HH07 ,  5D121HH18 ,  5J084AA07 ,  5J084AB17 ,  5J084AC07 ,  5J084AD04 ,  5J084CA29 ,  5J084CA31 ,  5J084CA34 ,  5J084CA76 ,  5J084DA01 ,  5J084DA02 ,  5J084DA08 ,  5J084EA01 ,  5J084EA40
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM