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J-GLOBAL ID：200903003808306152

赤外線センサ、その製法および赤外線検知装置

Inventor： 今泉 三之 ,  内海 良和 ,  奥村 正富 ,  山田 朗 ,  佐藤 剛彦
Applicant, Patent owner： 株式会社オプテックディディ・メルコ・ラボラトリー ,  三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994038072
Publication number (International publication number)：1995243908
Application date： Mar. 09, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 熱容量が小さく、感度が高い安価な赤外線センサおよびその製法を提供すると共に、エアコンの作動、ルーバの移動、ドアの開閉などを自動的に行うため、静止した人間などの赤外線を検知する装置を提供する。【構成】 基板6上に赤外線検知素子形成部を有する絶縁被膜2が設けられ、該絶縁被膜2の前記素子成形部上に赤外線検知素子1が設けられ、前記絶縁被膜2の前記素子形成部の下側に空洞部5が形成された赤外線センサであって、前記素子形成部の前記絶縁被膜の空洞部側に少なくとも前記基板のエッチング液に濡れ性のよい材料からなる薄膜7および/または反射光を認識し易い反射板が設けられる。

Claim (excerpt)：

基板上に赤外線検知素子形成部を有する絶縁被膜が設けられ、該絶縁被膜の前記素子形成部上に赤外線検知素子が設けられ、前記絶縁被膜の前記素子形成部の下側に空洞部が形成された赤外線センサであって、前記素子形成部の前記絶縁被膜の空洞部側に少なくとも前記基板のエッチング液に濡れ性のよい材料からなる薄膜が設けられてなる赤外線センサ。

IPC (4)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 21/306 ,  H01L 37/02