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J-GLOBAL ID：200903003809296800

基板検査装置

Inventor： 岩田 敏 ,  鈴木 伸二
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992245135
Publication number (International publication number)：1994094651
Application date： Sep. 14, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明はX線を用いて基板の断面観察を行う基板検査装置に関し、画質劣化の少ない再構成画像を得ることを目的とする。【構成】 回転ステージ25に搭載された基板26をX線源22から蛍光板23まで移動させて拡大率を変化させる直進ステージ24が設けられる。そして、拡大率の異なる投影データの拡大率を揃えて再構成画像を生成する画像処理ユニット37が設けられる。

Claim (excerpt)：

回転手段(25)により回転される基板(26)に、X線源(22)よりX線を照射し、該基板(26)の拡大された投影データを受像手段(23,27,28)により受像し、該基板(26)の再構成画像を生成する基板検査装置において、前記回転手段(25)を、前記X線源(22)から前記受像手段(23,27,28)まで移動させて拡大率を変化させる移動手段(24)と、該移動手段(24)により、得られる拡大率の異なる前記投影データの拡大率を揃えて前記再構成画像を生成させるデータ補正手段(37)と、を有することを特徴とする基板検査装置。

IPC (2)：

G01N 23/18 ,  H01L 21/66