Pat

J-GLOBAL ID：200903003837397507

液晶表示器の製造装置

Inventor： 山田 活郎 ,  三留 成人
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993097805
Publication number (International publication number)：1994308495
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 表示品位の高い液晶表示器を製造できる製造装置を提供する。【構成】 上下に相対向する均熱板16および赤外線パネルヒータ21を備えた炉体12を多段に配置する。各炉体12内の均熱板16上の所定位置に、ロボット移載機構13により、配向膜3を印刷塗布した液晶基板1を搬入する。この液晶基板1を、均熱板16および赤外線パネルヒータ21により上下から均一に加熱して予備乾燥する。加熱に伴って生じる配向膜3の溶剤の蒸気を、均熱板16の下側に設けた排気口28から炉体12の外部に排気する。【効果】 配向膜3の溶剤の乾燥速度を連続的にするとともに、溶剤の蒸発を促進して、配向膜3の分子配列を均一にできる。液晶基板1の片面が熱膨張して反ることがない。

Claim (excerpt)：

液晶基板に塗布された配向膜を乾燥する乾燥装置を有し、この乾燥装置は、所定の位置に停止した状態の前記液晶基板を加熱して、この液晶基板に塗布された配向膜を乾燥する加熱手段を備えたことを特徴とする液晶表示器の製造装置。

IPC (2)：

G02F 1/1337 ,  G02F 1/13 101