Pat
J-GLOBAL ID：200903003849540798
大口径炭化珪素単結晶インゴツトの作製方法および種結晶用炭化珪素単結晶
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
八田 幹雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991036150
Publication number (International publication number)：1993032496
Application date： Mar. 01, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 大口径炭化珪素単結晶インゴット、特に6H形および4H形の大口径炭化珪素単結晶インゴットを作製する。【構成】 渦巻成長のスパイラルステップを有する(0001)成長ファセ【外1】堝蓋の中心に種結晶として配置し、前記炭化珪素単結晶の口径の1〜3倍の大きさの開口部を有する黒鉛製仕切板を前記炭化珪素単結晶の側面に位置するように取付けた黒鉛製坩堝を用い、昇華法により成長を行なう。
Claim (excerpt)：
渦巻成長のスパイラルステップを有する(0001)成長【外1】鉛製坩堝蓋の中心に種結晶として配置し、前記炭化珪素単結晶の口径の1〜3倍の大きさの開口部を有する黒鉛製仕切板を前記炭化珪素単結晶の側面に位置するように取付けた黒鉛製坩堝に炭化珪素原料粉末を挿入し、不活性気体雰囲気中にて炭化珪素原料を加熱昇華させ、前記炭化珪素単結晶を炭化珪素原料より低温にして炭化珪素単結晶を成長させることを特徴とする大口径炭化珪素単結晶インゴットの作製方法。
IPC (3)：
C30B 29/36
, C30B 23/00
, H01L 21/203
