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J-GLOBAL ID：200903003858304673

圧電素子微動機構

Inventor： 富岡 正治
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997257283
Publication number (International publication number)：1999094865
Application date： Sep. 22, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】破損し難く強固な取り付けが可能な圧電素子微動機構を提供する。【解決手段】圧電素子微動機構60は、金属製の角柱62と、その外周の各平面に設けられた四枚の圧電素子64aと64bと64cと64dとを備えている。金属製の角柱62は四枚の圧電素子64aと64bと64cと64dに対して共通電極として作用し、圧電素子64aと64bと64cと64dはそれぞれ角柱62の外周平面に平行な面に駆動電極66aと66bと66cと66dを備えている。

Claim 1：

走査型プローブ顕微鏡に用いられる圧電作用を利用した圧電素子微動機構であり、セラミックに比べて高い破壊強度を持つ本体部と、本体部に設けられた複数の圧電素子とを有している圧電素子微動機構。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G05D 3/00

FI (3)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G05D 3/00 G