アルカリ現像型感光性ペースト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：角田嘉宏 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999106682
Publication number (International publication number)：2000298336
Application date： Apr. 14, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】光重合性を有し、リソグラフィーに用いた場合に解像度の高い膜が得られるアルカリ現像型感光性ペースト組成物を提供する。【解決手段】 (A)無機粉末と、(B)化1で表されるセルロース誘導体に(メタ)クリロイルオキシエチルイソシアネートを付加反応させて得られるセルロース系カルボン酸変性感光性バインダー樹脂と、(C)光反応性モノマーと、(D)光重合開始剤とを含有するアルカリ現像型感光性ペースト組成物である。ここで、R1は、水素、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜8のアシル基及び-COR3COOH基からなる群から選択される置換基であって、少なくとも、前記水素及び/又は前記ヒドロキシアルキル基と、前記-COR3COOH基とを含み、上記R3は、炭素数1〜4のアルキレン基、炭素数6〜8のシクロアルキレン基、フェニレン基及び置換フェニレン基からなる群から選択される置換基である。【化1】

Claim (excerpt)：

(A)無機粉末と、(B)化1で表されるセルロース誘導体に(メタ)クリロイルオキシエチルイソシアネートを付加反応させて得られるセルロース系カルボン酸変性感光性バインダー樹脂と、【化1】(ここで、R1は、水素、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜8のアシル基及び-COR3COOH基からなる群から選択される置換基であって、少なくとも、前記水素及び/又は前記ヒドロキシアルキル基と、前記-COR3COOH基とを含み、上記R3は、炭素数1〜4のアルキレン基、炭素数6〜8のシクロアルキレン基、フェニレン基及び置換フェニレン基からなる群から選択される置換基である。)(C)光反応性モノマーと、(D)光重合開始剤とを含有していることを特徴とするアルカリ現像型感光性ペースト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/027 513 , G03F 7/027 502 , C08F290/10 , C08K 3/08 , C08L 55/00 , G03F 7/004 501

FI (6)：

G03F 7/027 513 , G03F 7/027 502 , C08F290/10 , C08K 3/08 , C08L 55/00 , G03F 7/004 501

F-Term (50)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AD01 , 2H025BC12 , 2H025BC14 , 2H025BC31 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025BC51 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA00 , 2H025CC08 , 2H025CC09 , 2H025FA17 , 4J002AB011 , 4J002DA066 , 4J002DE046 , 4J002DJ016 , 4J002DK006 , 4J002ED088 , 4J002EE038 , 4J002EH009 , 4J002EL039 , 4J002ER007 , 4J002EV308 , 4J002FA086 , 4J002FD208 , 4J002GP03 , 4J027AC01 , 4J027AC03 , 4J027AC06 , 4J027AH03 , 4J027AJ05 , 4J027AJ08 , 4J027BA02 , 4J027BA07 , 4J027BA19 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CA11 , 4J027CA12 , 4J027CA14 , 4J027CA19 , 4J027CA33 , 4J027CB10 , 4J027CD10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

変性セルロース化合物およびこれを含有する光重合性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-218038 Applicant：東京応化工業株式会社

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