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J-GLOBAL ID：200903003859682981
カーボン膜成膜用スパツタカソード及びカーボン膜成膜方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
金丸 章一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991231770
Publication number (International publication number)：1993070938
Application date： Sep. 11, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：
【要約】【構成】 カソードシールドがグラファイト等のカーボン材より成ると共に、カソードシールド面の高さがターゲット材表面と同一かあるいは低く設定されたことを特徴とするカーボン膜成膜用スパッタカソード、及び、このスパッタカソードを用いて成膜することを特徴とするカーボン膜の製膜方法。【効果】 長時間のスパッタリングを実施してもアーキング発生が少なく、高品質のカーボンスパッタ膜を生成できる。
Claim (excerpt)：
カソードシ-ルドがグラファイト等のカーボン材より成ると共に、カソードシールド面の高さがターゲット材表面と同一かあるいは低く設定されたことを特徴とするカ-ボン膜成膜用スパッタカソード。
IPC (2)：
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