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J-GLOBAL ID:200903003867486113

カラーフィルターの検査方法、装置及びそれに使用する光源

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 内山 充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992103499
Publication number (International publication number):1993281147
Application date: Mar. 30, 1992
Publication date: Oct. 29, 1993
Summary:
【要約】【構成】カラーフィルターの正常部を透過した各色光の受光強度をほぼ一致させるように光源の光強度を調整し、その光をカラーフルターに当て、その透過光の強度を少なくとも3段階の強度レベル毎に検知することを特徴とするカラーフィルターの検査方法及びその検査方法を実施するカラーフィルターの検査装置。【効果】カラーフィルターの傷、異物の混入、色むらなどの欠陥部を迅速に効率的に検査することができる
Claim (excerpt):
カラーフィルターの正常部を透過した各色光の受光強度をほぼ一致させるように光源の光強度を調整し、その光をカラーフィルターに当てて透過させ、そのカラーフィルターからの検査光の強度を高強度区域、調整強度区域及び低強度区域の少なくとも3段階の強度レベルに区別して、少なくとも高強度区域又は低強度区域の検査光を検知することを特徴とするカラーフィルターの検査方法。
IPC (2):
G01N 21/88 ,  G01N 21/84

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