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J-GLOBAL ID：200903003868416658

表面検査方法及びその装置

Inventor： 大重 貴彦
Applicant, Patent owner： JFEスチール株式会社
Agent (5)： 小林 久夫 ,  安島 清 ,  佐々木 宗治 ,  大村 昇 ,  高梨 範夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004249501
Publication number (International publication number)：2006064608
Application date： Aug. 30, 2004
Publication date： Mar. 09, 2006
Summary：

【課題】 検査対象が平らな場合であっても、サイズの小さな疵が検出できるようにした表面検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】 平面状の被検査体の表面に所定の入射角で光束を照射し、被検査体の表面から反射された光を検出して、微小凹凸性疵を検出する表面検査方法において、光源の波長λに対する入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、被検体の表面粗さに対応して決定される所定の値以下となるように、波長λと入射角θの関係を選定し、且つ、被検査体の表面に入射する光束を発散光とした。【選択図】 図1

Claim 1：

平面状の被検査体の表面に所定の入射角で光束を照射し、前記被検査体の表面から反射された光を検出して、微小凹凸性疵を検出する表面検査方法において、 前記光源の波長λに対する前記入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、前記被検体の表面粗さに対応して決定される所定の値以下となるように、前記波長λと前記入射角θの関係を選定し、且つ、被検査体の表面に入射する光束を発散光としたことを特徴とする表面検査方法。

IPC (2)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/30

FI (2)：

G01N21/892 B ,  G01B11/30 A

F-Term (24)：

2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC06 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG21 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU01 ,  2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BB01 ,  2G051BC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 表面検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-028699   Applicant：日本鋼管株式会社