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J-GLOBAL ID:200903003869572149
除振機構
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
井島 藤治
, 鮫島 信重
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008012447
Publication number (International publication number):2009174604
Application date: Jan. 23, 2008
Publication date: Aug. 06, 2009
Summary:
【課題】本発明は除振機構に関し、装置の高さを増やすことなく、除振性能を向上させることができる除振機構を提供することを目的としている。【解決手段】精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、2段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、前記ベローズを同心状に配置する構成と、真空圧による力を支持するゴム部材の一方を除振対象の外側に配置する構成と、を含んで構成される。【選択図】図1
Claim 1:
精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、2段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、
前記ベローズを同心状に配置する構成と、
真空圧による力を支持するゴム部材の一方を除振対象の外側に配置する構成と、
を含むことを特徴とする除振機構。
IPC (2):
FI (2):
F16F15/02 C
, F04D19/04 Z
F-Term (8):
3H131AA02
, 3H131BA07
, 3H131CA37
, 3H131CA39
, 3J048AD07
, 3J048BF02
, 3J048BF16
, 3J048EA07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
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除振装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-028320
Applicant:三菱重工業株式会社
-
除振装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-033696
Applicant:三菱重工業株式会社
Cited by examiner (2)
-
ダンパ装置、及び真空ポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-097861
Applicant:ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
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ターボ分子ポンプの振動抑制器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-243068
Applicant:日本電子株式会社
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