GZO焼結体およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鴨田哲彰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008026422
Publication number (International publication number)：2009184876
Application date： Feb. 06, 2008
Publication date： Aug. 20, 2009
Summary：

【課題】酸化マグネシウムを増量したGZO焼結体とその製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛粉末と酸化ガリウム粉末とを湿式法により混合し、該混合物に酸化マグネシウム粉末を添加し、1時間以上10時間以下、湿式法により混合を行ってスラリーを得て、該スラリーを急速乾燥造粒して造粒粉を得て、該造粒粉を成形し、焼成することにより、5〜15質量%の酸化マグネシウムと、1〜10質量%の酸化ガリウムとを含有し、亜鉛とマグネシウムとガリウムの複合酸化物からなり、相対密度が80%以上で、マグネシウムの偏析部の径が10μm以下であるGZO焼結体を得る。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

5〜15質量%の酸化マグネシウムと、1〜10質量%の酸化ガリウムとを含有し、亜鉛とマグネシウムとガリウムの複合酸化物からなり、相対密度が80%以上であり、かつ、マグネシウムの偏析相がないか、または、マグネシウムの偏析部の径が10μm以下であるGZO焼結体。

IPC (2)：

C04B 35/453 , C23C 14/34

FI (2)：

C04B35/00 P , C23C14/34 A

F-Term (21)：

4G030AA07 , 4G030AA32 , 4G030AA34 , 4G030BA02 , 4G030BA15 , 4G030GA04 , 4G030GA05 , 4G030GA11 , 4G030GA14 , 4G030GA16 , 4G030GA22 , 4G030GA25 , 4G030GA27 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029CA05 , 4K029DC06 , 4K029DC07 , 4K029DC09 , 4K029DC34 , 4K029DC39

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

スパッタリングターゲット用ZnO-Ga2O3系焼結体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-115764 Applicant：住友金属鉱山株式会社

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