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J-GLOBAL ID：200903003907371730

レチクルの欠陥検査方法及びその装置

Inventor： 岸川 豊
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997048982
Publication number (International publication number)：1998246951
Application date： Mar. 04, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ワン・チップ毎のステップ&リピート露光方式のレチクルの欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 本欠陥検査方法は、無欠陥の使用前の所定レチクルのレチクルパターンの画像を予め基準パターン画像18として画像記録媒体に記憶するステップと、使用後の所定レチクルのレチクルパターンを検査するために、所定レチクルの現レチクルパターンを撮像して検査パターン画像22を得るステップと、及び検査パターン画像と基準パターン画像とを対比してレチクル欠陥を検出するステップとを有する。本方法は、ワン・チップ毎のステップ&リピート露光方式のレチクルの欠陥検査に最適である。

Claim (excerpt)：

使用前の無欠陥所定レチクルのレチクルパターン画像を予め基準パターン画像として画像記録媒体に記憶するステップと、使用後の所定レチクルのレチクルパターンを検査するために、所定レチクルの現レチクルパターンを撮像して検査パターン画像を得るステップと、検査パターン画像と基準パターン画像とを対比してレチクル欠陥を検出するステップとを有することを特徴とするレチクルの欠陥検査方法。

IPC (5)：

G03F 1/08 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 1/08 S ,  G01B 11/24 F ,  G01N 21/88 E ,  G06F 15/62 405 A ,  H01L 21/30 502 V