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J-GLOBAL ID：200903003934736502

ダイヤモンドライクカーボン膜の製膜法

Inventor： 平山 忠亮 ,  河岸 健二 ,  荒井 芳博
Applicant, Patent owner： 東燃株式会社
Agent (1)： 久保田 耕平 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991156098
Publication number (International publication number)：1994025856
Application date： May. 31, 1991
Publication date： Feb. 01, 1994
Summary：

【要約】【目的】低温で基板上にダイヤモンドライクカーボン薄膜を形成する方法を提供する。【構成】分子量128以上の芳香族炭化水素化合物であるところの炭素源となる化合物5を加熱して蒸発させ、熱フィラメント4によりイオン化した後、加速し、基板2上に堆積させることによる、ダイヤモンドライクカーボン膜の製膜法。

Claim (excerpt)：

熱フィラメントを用いたイオン化製膜法において、炭素源として分子量128以上の芳香族炭化水素化合物を用いることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の製膜法。

IPC (4)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/06 ,  C30B 25/02 ,  C30B 29/04