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J-GLOBAL ID:200903003939607697
螢光X線検査装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中村 稔 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994175004
Publication number (International publication number):1995063713
Application date: Jul. 27, 1994
Publication date: Mar. 10, 1995
Summary:
【要約】【目的】 X線の発生源としてX線管を用いることができる螢光X線検査装置を提供する。【構成】 試料位置に向かって指向されるエネルギーの範囲を有するX線を発生するX線管と、X線管及び試料位置の間に取り付けられ、試料位置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第1のフィルタアセンブリと、試料位置からのX線を監視するX線監視装置と、試料位置及び監視装置の間に取り付けられ、監視装置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第2のフィルタアセンブリとを備える。
Claim (excerpt):
試料位置に向かって指向されるエネルギーの範囲を有するX線を発生するX線管と、前記X線管及び前記試料位置の間に取り付けられ、該試料位置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第1のフィルタアセンブリと、前記試料位置からのX線を監視するX線監視装置と、前記試料位置及び前記監視装置の間に取り付けられ、該監視装置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第2のフィルタアセンブリとを備えることを特徴とする螢光X線検査装置。
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