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J-GLOBAL ID:200903003948922503
セラミックス基板およびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
井内 龍二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993175517
Publication number (International publication number):1995033515
Application date: Jul. 15, 1993
Publication date: Feb. 03, 1995
Summary:
【要約】【構成】 ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、ガラスはMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)であって、結晶は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶を含有し、2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 の骨材表面、又は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 及びAl2 O3 の骨材表面から2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶が析出しているセラミックス基板。【効果】 ガラスの軟化温度が720°C以下になり、850〜1000°Cの焼成温度でも気孔率が減少してち密化し、熱膨張係数がシリコンに近く、比誘電率が小さく、耐湿性、耐水性等にも優れたセラミック基板を提供することができる。
Claim (excerpt):
ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、前記ガラスはMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)であって、前記結晶は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶を含有し、2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 の骨材表面、又は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 及びAl2 O3 の骨材表面から2MgO・2Al2 O3・5SiO2 結晶が析出していることを特徴とするセラミックス基板。
IPC (3):
C04B 35/18
, H05K 1/03
, H05K 3/46
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭63-079739
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特開平1-132194
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特開昭63-151645
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