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J-GLOBAL ID：200903003948922503

セラミックス基板およびその製造方法

Inventor： 山出 善章 ,  守屋 要一
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993175517
Publication number (International publication number)：1995033515
Application date： Jul. 15, 1993
Publication date： Feb. 03, 1995
Summary：

【要約】【構成】 ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、ガラスはMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)であって、結晶は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶を含有し、2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 の骨材表面、又は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 及びAl2 O3 の骨材表面から2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶が析出しているセラミックス基板。【効果】 ガラスの軟化温度が720°C以下になり、850〜1000°Cの焼成温度でも気孔率が減少してち密化し、熱膨張係数がシリコンに近く、比誘電率が小さく、耐湿性、耐水性等にも優れたセラミック基板を提供することができる。

Claim 1：

ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、前記ガラスはMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)であって、前記結晶は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶を含有し、2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 の骨材表面、又は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 及びAl2 O3 の骨材表面から2MgO・2Al2 O3・5SiO2 結晶が析出していることを特徴とするセラミックス基板。

IPC (3)：

C04B 35/18 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-079739
  
• 特開平1-132194
  
• 特開昭63-151645