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J-GLOBAL ID：200903003953965890
超微粒子の製造方法及び製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井上 雅生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991361568
Publication number (International publication number)：1994093309
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】 直径10μ以下の超微粒子のフィルタを用いた製造方法及び装置を提供する。【構成】 ガス気流中の超微粒子をフィルターを用いて捕集する製造方法において、フィルター表面に付着した超微粒子を圧化ガスにより払落す。フィルター前後の圧力差が一定値以上となったとき、差圧をゼロにしてから圧化ガスを噴射する。フィルターを複数個並列設置し、超微粒子の発生を中断させることなく連続運転する。
Claim (excerpt)：
生成された超微粒子をガス気流に乗せフィルターを用いて捕集する超微粒子の製造方法において、蓄圧されたガスをフィルター裏面から噴射させることにより、フィルター表面に積層した超微粒子を払い落とすことを特徴とする超微粒子の製造方法。
IPC (4)：
B22F 9/12
, B01D 46/42
, B01J 19/00
, B01J 19/08
