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J-GLOBAL ID:200903003959824422

多重露光描画装置および多重露光描画方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松浦 孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001248151
Publication number (International publication number):2003057836
Application date: Aug. 17, 2001
Publication date: Feb. 28, 2003
Summary:
【要約】【課題】 マトリクス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて、パターンデータの画素サイズがどのような大きさのものであってもそのパターンデータに基づいて所定のパターンを適正に多重露光により描画する。【解決手段】 露光ユニット2001〜2015のマトリクス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿ってしかも該配列方向に対して該露光ユニット2001〜2015を描画面32に対して相対移動させる。露光ユニットの変調素子によって描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Aに該サイズより小さい距離aを加えた距離(A+a)だけ露光ユニットが描画面上に対して相対的に移動する度毎に該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる。
Claim (excerpt):
マトリクス状に配列された多数の変調素子を持つ少なくとも1つの露光ユニットを用いて、所定パターンを多重露光により描画面上に描画する多重露光描画装置であって、前記所定パターンを所定の画素サイズに基づいて表したラスタデータを保持する第1メモリ手段と、前記描画面に対する前記露光ユニットの相対位置を前記画素サイズに基づいて表した露光位置データを保持する第2メモリ手段と、前記露光ユニットにおける各変調素子の相対位置を示す露光点データを保持する第3メモリ手段と、前記露光位置データおよび前記露光点データに基づいて、個々の前記変調素子に対応する前記ラスタデータを前記第1メモリ手段から読み出して露光データを生成する露光データ生成手段と、前記露光データに基づいて前記変調素子をそれぞれ駆動制御する変調素子制御手段とを備えることを特徴とする多重露光描画装置。
IPC (2):
G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027
FI (2):
G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 529
F-Term (16):
2H097AA03 ,  2H097BB03 ,  2H097CA03 ,  2H097CA06 ,  2H097CA11 ,  2H097CA12 ,  2H097CA17 ,  2H097EA01 ,  2H097GB04 ,  2H097KA03 ,  2H097KA40 ,  2H097LA09 ,  5F046BA07 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CC04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (23)
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Cited by examiner (14)
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