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J-GLOBAL ID：200903003970772264

プラズマの発生装置及び発生方法

Inventor： アジット ピー.パランジプ ,  スチーブ エス.ファング
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994021375
Publication number (International publication number)：1994295797
Application date： Feb. 18, 1994
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】高価なチューニング及び冷却機構を必要とすることなくプラズマを発生させる装置及び方法を提供する。【構成】サーファトロン12が、同軸導波管30の区域に結合されてそれらの間の交点にて空胴28を規定する第1導波管32を含んで設けられている。同軸導波管30は外側円筒36及び外側円筒36内に配置された内側円筒34を含む。内側円筒34は導波管32の第1区域の壁に接近して配置された端を有する。空間40は、内側円筒34の端及び導波管32の壁の間に規定される。放電管22は、内側円筒34内に配置された第1部分及び内側円筒34の端及び導波管32の壁の間で空間40を通し延出する第2部分を有して設けられている。コイル38は内側円筒34の端及び導波管32の壁の間で空間40を通り延出する放電管22の一部の周りに配置されている。

Claim (excerpt)：

第1導波管と、この第1導波管に結合されて当該第1導波管との交点にて空胴を規定する同軸導波管であって、外側円筒とこの外側円筒内に配置された内側円筒を含み、空間がこの内側円筒の一部及び前記外側円筒の一部の間に規定されそして前記第1導波管の壁に接近して配置された端を有し、空間が前記端と前記壁との間に規定されるようにした同軸導波管と、前記内側円筒内に配置された第1部分及び前記内側円筒の前記端及び前記壁の間で前記空間を通り延出する第2部分を有する放電管と、前記端及び前記壁の間で前記空間を通り延出する前記放電管の前記一部の周囲に配置されたコイルを含むプラズマの発生装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-283745
  
• 特開平2-215038
  
• 特開平3-095899