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J-GLOBAL ID：200903004013106453

乾燥装置

Inventor： 藤原 琴二
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 大岩 増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996194290
Publication number (International publication number)：1998038462
Application date： Jul. 24, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 乾燥状態の面内均一性を改善することにより品質のよい被膜を形成できる乾燥装置を提供する。【解決手段】 ガラスパネル3とヒータ盤2の間にヒータ盤2と直角に仕切り板6を配置すると共に、仕切り板6により区分される領域と電圧を個別に印加できるヒータ素子1の領域とを対応させて、ヒータ素子1に印加する電圧を変化させることにより、ガラスパネル3に形成された被膜の乾燥条件を仕切り板6により区分された領域に対して個別に制御する。

Claim (excerpt)：

被乾燥体を保持すると共に駆動部によって回転されるキャリア、上記被乾燥体と所定の間隔を隔て、対向して面状に配置された熱源、上記被乾燥体と上記熱源の間に、この被乾燥体と熱源面に交差する方向に配置され、上記被乾燥体と上記熱源の間の空間を複数の領域に区分する仕切り板を備えたことを特徴とする乾燥装置。

IPC (3)：

F26B 23/04 ,  H01J 9/22 ,  H01J 9/227

FI (4)：

F26B 23/04 C ,  H01J 9/22 A ,  H01J 9/227 C ,  H01J 9/227 D