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J-GLOBAL ID：200903004018236320

石英ガラス表面加工方法

Inventor： 剣持 克彦 ,  遠藤 護
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994332956
Publication number (International publication number)：1995315872
Application date： Dec. 14, 1994
Publication date： Dec. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】 石英ガラス表面に粗い凹凸を化学的加工法で形成する表面加工方法を提供すること。【構成】 石英ガラスの表面を表面加工液で不均一に腐食しその表面に凹凸を形成する石英ガラスの表面加工方法において、表面加工液が20重量%以下の酢酸と7重量%以上のフッ化アンモニウムと4重量%以上のフッ化水素と50重量%を超え80重量%以下の水からなる加工液である石英ガラス表面加工方法。

Claim (excerpt)：

石英ガラスの表面を表面加工液で不均一に腐食しその表面に凹凸を形成する石英ガラスの表面加工方法において、表面加工液が20重量%以下の酢酸と7重量%以上のフッ化アンモニウムと4重量%以上のフッ化水素と50重量%を超え80重量%以下の水とを含有する加工液であることを特徴とする石英ガラス表面加工方法。

IPC (3)：

C03C 15/00 ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/22 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-047744
  
• 特開昭57-047744