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J-GLOBAL ID：200903004027524177

超精密加工機の真直度補正システム

Inventor： 横山 有史
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995234866
Publication number (International publication number)：1997076141
Application date： Sep. 13, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 スライドテーブルの真直度誤差を補償して被削材の形状精度劣化を防ぐことができる超精密加工機の真直度補正システムを提供する。【解決手段】 直交する2つのX及びZテーブル5,10のうちワーク8をトラバースするXテーブル5の真直度誤差をマイクロセンス9で検出し、この検出値に対応してバイト9側を微小変位すべく微動ステージ11を前記バイトを切り込み方向に送るZテーブル10上に設けた。

Claim (excerpt)：

ワークをトラバースする第一テーブルと、該テーブルの真直度誤差を検出する真直度誤差検出装置と、同第一テーブルに直交して工具に送りをかける第二テーブルと、該テーブル上に設けられて前記工具を微小変位させる微動ステージと、前記真直度誤差検出装置からの検出値に基づいて真直度を補正すべく前記微動ステージを駆動制御する制御回路とを備えたことを特徴とする超精密加工機の真直度補正システム。