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J-GLOBAL ID：200903004031767556

マスク用透光板固定装置およびその方法

Inventor：
伊勢 勝

About 伊勢 勝

, 
松田 政昭

About 松田 政昭


Applicant, Patent owner：
株式会社オーク製作所

About 株式会社オーク製作所


Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001331302
Publication number (International publication number)：2003131403
Application date： Oct. 29, 2001
Publication date： May. 09, 2003
Summary：
【要約】【課題】 マスク用透光板に対してくぼみあるいは反り等を発生させることがなく、また、固定操作が容易で、かつ、調整作業にも手間がかかることがないマスク用透光板固定装置およびその方法を提供することを課題とする。【解決手段】 露光装置において基板と対面して配置されるマスク用透光板Mkを固定するマスク用透光板固定装置1であって、前記マスク用透光板を支持する透光板ガイド枠2と、この透光板ガイド枠2と前記マスク用透光板Mkと対面する位置に設けた伸縮部材10と、この伸縮部材を伸張収縮させるためのエア供給排出手段20とを備える構成とした。
Claim (excerpt)：
露光装置において基板と対面して配置されるマスク用透光板を固定するマスク用透光板固定装置であって、前記マスク用透光板を支持する透光板ガイド枠と、この透光板ガイド枠と前記マスク用透光板と対面する位置に設けた伸縮部材と、この伸縮部材を伸張収縮させるためのエア供給排出手段とを備えることを特徴とするマスク用透光板固定装置。
IPC (3)：
G03F 9/00 ,  G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00
FI (3)：
G03F 9/00 Z ,  G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00 E
F-Term (4)：
2H097GA00 ,  2H097KA03 ,  2H097KA28 ,  2H097LA09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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