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J-GLOBAL ID：200903004038035917

モータ機構及び検査装置

Inventor： 伊藤 隆紀 ,  吉田 篤司
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996136736
Publication number (International publication number)：1997322591
Application date： May. 30, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 配設スペースを小さくしてモータ機構の小型化を図ることができ、しかも高い位置精度と速い駆動速度とを確保する。【解決手段】 検査テーブル等の駆動対象物を駆動させるための駆動軸9は、粗動モータ23の回転軸23aに連結固定されている。粗動モータ23が一体回転可能に収容されたハウジング20は、粗動モータ23より分解能の高い微動モータ25の回転軸25aが入力軸として接続された減速機24の出力軸26に対し、一体回転可能に固定されている。電磁クラッチ27が切断されて駆動軸9とハウジング20との切断状態で粗動モータ23が駆動されることにより、駆動軸9は粗動モータ23の分解能に応じた駆動速度で駆動される。また、電磁クラッチ27が接続されて駆動軸9とハウジング20との接続状態で微動モータ25が駆動されることにより、駆動軸9は微動モータ25の分解能に応じた駆動速度で駆動される。

Claim 1：

駆動対象物を駆動するための駆動軸に回転軸を連結させた第1モータと、前記第1モータと分解能が異なるとともに、該第1モータに一体回転可能に出力軸を連結させた第2モータと、前記第1モータとその回転軸とを一体回転可能な接続状態と、相対回転可能な切断状態とに切り換える切換手段とを備えたことを特徴とするモータ機構。

IPC (2)：

H02P 7/67 ,  G05D 3/12 305

FI (3)：

H02P 7/67 D ,  H02P 7/67 A ,  G05D 3/12 305 E