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J-GLOBAL ID：200903004054931086

プラズマディスプレイパネルの製造方法

Inventor： 中原 裕之 ,  南都 利之 ,  脇谷 雅行
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 久保 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995020076
Publication number (International publication number)：1996212918
Application date： Feb. 08, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】隔壁の間に電極を有した大型で高精細のPDPをできるだけ安く製造することを目的とする。【構成】放電空間を区画する互いに平行な隔壁29と、各隔壁の間に配置された帯状の電極Aとを有したPDPの製造に際して、基板21を等方性エッチング法によって部分的に除去して各隔壁29を形成し、各隔壁29の間の基板表面を覆う導電材料層51を形成し、流動性のレジスト材の塗布によって導電材料層51の幅方向の中央部のみを覆うパターニングマスク62を形成し、導電材料層51の露出部分を除去して電極Aを形成する。

Claim (excerpt)：

一対の基板によって挟まれた放電空間を区画する互いに平行な隔壁と、前記各隔壁の間に配置された帯状の電極とを有したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、一方の前記基板を等方性エッチング法によって部分的に除去して前記各隔壁を形成する工程と、前記基板における前記各隔壁の間の表面を覆う導電材料層を形成する工程と、流動性のレジスト材の塗布によって、前記各隔壁の間の前記各導電材料層の上に、当該導電材料層の幅方向の中央部のみを覆うパターニングマスクを形成する工程と、前記各導電材料層の露出部分を除去して前記電極を形成する工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (3)：

H01J 9/02 ,  H01J 9/24 ,  H01J 11/00