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J-GLOBAL ID：200903004056309021

真空紫外光ランプ

Inventor： 佐々木 亘 ,  窪寺 昌一 ,  河仲 準二 ,  黒澤 宏
Applicant, Patent owner： 佐々木 亘 ,  窪寺 昌一 ,  河仲 準二 ,  黒澤 宏 ,  宮崎県 ,  日之出酸素株式会社 ,  安井株式会社 ,  株式会社花菱塗装技研工業 ,  サン電子工業株式会社 ,  清本鐵工株式会社
Agent (1)： 衞藤 彰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999176082
Publication number (International publication number)：2001006623
Application date： Jun. 22, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 真空紫外光ランプの長寿命化を図る。【解決手段】 真空紫外光ランプの容器1内に、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスを充填し、誘電体兼真空紫外光取出窓2で密閉する。電極4、4aはこの誘電体兼取出窓2を介して対向配置し、導線5を介して高周波高電圧電源6に接続する。本発明では、この誘電体や取出窓部材に、酸素を含まないフッ化物、例えばフッ化マグネシウム、フッ化リチウム、フッ化カルシウムなどを用い、光エネルギー照射を受けても、光出力減衰の原因となる酸素を容器内に放出しないようにしてある。これにより長時間光出力の減衰が抑制される。また容器内の希ガスを常時置換すると、酸素を含む石英やサファイヤを使用しても、発生した酸素が容器外に放出されるので、真空紫外光の減衰は実用上問題とならない。

Claim (excerpt)：

誘電体を介して対向させた電極により、希ガスを充填した容器内で放電させて真空紫外光を生成し、生成した真空紫外光を取出窓または誘電体を介して外部に取り出す真空紫外光ランプであって、希ガスがアルゴン、クリプトン及びキセノンからなる群から選ばれた少なくともひとつであり、かつ真空紫外光取出窓及び/または誘電体が酸素を含まないフッ化物であることを特徴とする真空紫外光ランプ。

IPC (2)：

H01J 65/00 ,  H01J 65/04

FI (2)：

H01J 65/00 A ,  H01J 65/04 A

F-Term (2)：

5C039NN07 ,  5C039NN09