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J-GLOBAL ID：200903004065834910
真空装置の封止構造
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 神田 藤博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002320970
Publication number (International publication number)：2004156469
Application date： Nov. 05, 2002
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：
【課題】真空チャンバ壁を貫通して往復運動するロッドと、真空チャンバ壁との間を封止する封止手段であって、真空チャンバの排気性能を損なわず、封止手段によって仕切られる空間の圧力差の有無にも関わらず、安定した封止性能を長時間発揮できる封止構造を安価に提供する。【解決手段】ロッド4は、第1の円錐面形状を有する外周面5を備えた円錐形状部を有している。一方、ロッド4が貫通するところの真空チャンバ1には、ロッド4の外周面5と対向する第2の円錐面形状を有する内周面7を有する開口壁部6が設けられる。第2の円錐面形状は、第1の円錐面形状と逆方向の形をしている。ロッド4と開口壁部6との間には、可撓性の円錐状筒体8が設けられている。この円錐状筒体8によって、ロッド4と開口壁部6の間を封止し、真空チャンバ1の気密性を保つ構造となっている。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
真空装置に用いられる真空チャンバの真空チャンバ壁を貫通して往復運動可能なロッドと、真空チャンバ壁との間の封止構造であって、
前記ロッドに形成された、第1の円錐面形状を有する外周面と、
該ロッドが貫通するところの真空チャンバ壁の開口壁部に形成された、前記第1の円錐面形状とは逆方向を向いた第2の円錐面形状を有する内周面と、
前記ロッドと前記開口壁部との間に配置される可撓性の円錐状筒体にして、中間部で裏返した状態で前記外周面および前記内周面の双方に沿うように装着され、且つ、一端を前記ロッドに、他端を前記開口壁部に固定された円錐状筒体と、
を備えてなる封止構造。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
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