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J-GLOBAL ID:200903004079990559
ストリップゲッターの製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小川 順三 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992114847
Publication number (International publication number):1993314908
Application date: May. 07, 1992
Publication date: Nov. 26, 1993
Summary:
【要約】【目的】 基材とゲッター材との密着性に優れ、かつ基材からガスを放出することなく優れたガス吸着能力を発揮するストリップゲッターを安定して製造する技術を提供すること。【構成】 一対の圧着ロール1,2の上部から、ロール間隙の中央部にNi,Cu およびAlのうちいずれか一種以上の金属もしくは合金からなる厚さ10〜50μmの箔7を連続的に送給すると共に、この送給箔7と各ロール1,2との隙間にZr,V,Fe,Ni,Nb,Ti,Mn およびAlのうちいずれか一種以上からなる金属粉末もしくは合金粉末を連続的に供給し、ロール1,2にて加圧しながら圧着して積層材とし、この積層材をロール1,2の回転に合わせてストリップ状として下方に連続的に引抜く。
Claim (excerpt):
Ni,Cu およびAlのうちいずれか一種以上の金属もしくは合金からなる箔の少なくとも一方の面に、Zr,V,Fe,Ni,Nb,Ti,Mn およびAlのうちいずれか一種以上からなる金属粉末もしくは合金粉末を圧着し、その後、真空下にて焼成することを特徴とするストリップゲッターの製造方法。
IPC (4):
H01J 9/39
, A47J 41/02 102
, B01J 20/02
, H01K 3/00
Patent cited by the Patent:
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