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J-GLOBAL ID:200903004097387525
有機ハロゲン化合物分解装置用プラズマ放電管
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
藤田 考晴 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000321661
Publication number (International publication number):2002126505
Application date: Oct. 20, 2000
Publication date: May. 08, 2002
Summary:
【要約】【課題】 耐食性に優れた有機ハロゲン化合物分解装置用プラズマ放電管を提供する。【解決手段】 有機ハロゲン化合物を含むガスにマイクロ波のエネルギーを投入することによって熱プラズマを生成し、該熱プラズマ中で有機ハロゲン化合物を水蒸気と反応させて分解する有機ハロゲン化合物分解装置に用いられる放電管21を、炭化珪素,窒化珪素,六方晶窒化ボロン,窒化アルミニウム,酸化マグネシウム,アルミナのいずれかから作製する。特にアルミナの場合は、溶射等によって多孔質アルミナとして作製する。
Claim (excerpt):
有機ハロゲン化合物を含むガスにマイクロ波のエネルギーを投入することによって熱プラズマを生成し、該熱プラズマ中で有機ハロゲン化合物を水蒸気と反応させて分解する有機ハロゲン化合物分解装置に用いられる放電管であって、炭化珪素,窒化珪素,六方晶窒化ボロン,窒化アルミニウム,酸化マグネシウム,アルミナのいずれかからなることを特徴とする有機ハロゲン化合物分解装置用プラズマ放電管。
IPC (7):
B01J 19/12
, A62D 3/00 ZAB
, C07B 35/06
, C07B 37/06
, C07C 19/08
, C07C 19/10
, G21F 9/14
FI (7):
B01J 19/12 A
, A62D 3/00 ZAB
, C07B 35/06
, C07B 37/06
, C07C 19/08
, C07C 19/10
, G21F 9/14 F
F-Term (26):
2E191BA12
, 2E191BA15
, 2E191BB00
, 2E191BD18
, 4G075AA03
, 4G075AA37
, 4G075BA01
, 4G075BA05
, 4G075CA26
, 4G075CA47
, 4G075DA01
, 4G075EB21
, 4G075EB41
, 4G075EC01
, 4G075EC06
, 4G075EC11
, 4G075ED02
, 4G075ED08
, 4G075EE02
, 4H006AA05
, 4H006AC13
, 4H006AC26
, 4H006BA95
, 4H006BD81
, 4H006BE60
, 4H006EA02
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