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J-GLOBAL ID：200903004102817924

端面発光型発光ダイオードアレイとその光出力検査方法

Inventor： 佐藤 俊一
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993337401
Publication number (International publication number)：1995202267
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】光出力検査をウエハ状態のままで簡単に精度良く行なうことができる構造の端面発光型発光ダイオードアレイとその光出力検査方法を提供する。【構成】本発明は、少なくとも発光ダイオードの発光層14と、該発光層を発光させるための電極20,25を含む積層構造よりなり、等間隔に設けた複数の分離溝24により各層を電気的、空間的に分離して複数の端面発光型発光ダイオード2を形成してなる端面発光型発光ダイオードアレイ1において、主たる光出力23はエッチングにより形成された積層端面28より得られ、各発光ダイオード2の発光層14を発光させるための上部電極20の面積を発光層14の面積より小さくした構造を有することを特徴とする。また本発明の検査方法は、発光層14より上層の上部電極20の無い領域27からのウエハ主表面側への漏れ光26をモニターして光出力良品及び不良品を選別する。

Claim (excerpt)：

少なくとも発光ダイオードの発光層と、該発光層を発光させるための電極を含む積層構造よりなり、等間隔に設けた複数の分離溝により各層を電気的、空間的に分離して複数の端面発光型発光ダイオードを形成してなる端面発光型発光ダイオードアレイにおいて、主たる光出力はエッチングにより形成された積層端面より得られ、各発光ダイオードの発光層を発光させるための上部電極の面積を発光層の面積より小さくした構造を有することを特徴とする端面発光型発光ダイオードアレイ。

IPC (5)：

H01L 33/00 ,  B41J 2/44 ,  B41J 2/45 ,  B41J 2/455 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光プリンター光源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-176859   Applicant：株式会社リコー, リコー応用電子研究所株式会社
• 特開平3-180078
  
• 特開昭63-248141