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J-GLOBAL ID：200903004107905694

圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、およびこれらの製造方法

Inventor： 藤井 覚 ,  神野 伊策 ,  高山 良一 ,  鎌田 健
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 大前 要
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999253039
Publication number (International publication number)：2001077438
Application date： Sep. 07, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 圧電素子の感度や変位のバラツキを小さく抑え、また、小型化を図る。【解決手段】 圧電素子は、(100)MgO単結晶基板から成る成膜基板101上に、下部電極102、膜厚がそれぞれ3μmの第1圧電体薄膜103と第2圧電体薄膜104と、および上部電極105が形成されて構成されている。上記第1圧電体薄膜103、および第2圧電体薄膜104は、それぞれ互いに異なる基板温度でスパッタリングされることによって連続的に形成され、例えば同図に矢印A,Bで示すように分極方向が互いに逆方向になり、薄膜バイモルフ構造の圧電素子が構成されている。

Claim (excerpt)：

1対の電極と、上記1対の電極間に設けられた圧電体部とを有し、上記圧電体部が、それぞれ薄膜形成され、分極方向が互いに反転した第1の圧電体薄膜と第2の圧電体薄膜とが積層されて構成されていることを特徴とする圧電素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22

FI (4)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/22 Z

F-Term (15)：

2C057AF24 ,  2C057AF34 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG49 ,  2C057AP02 ,  2C057AP15 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP75 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14