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J-GLOBAL ID：200903004109583600

被散布物の計数方法及びこれを用いた液晶パネル製造方法

Inventor： 鎌田 豪 ,  片山 良志郎 ,  古川 訓朗
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992011411
Publication number (International publication number)：1993203558
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は微小な被散布物を散布時に計数する被散布物の計数方法に関し、散布数を高精度に計数し、制御することを目的とする。【構成】 複数の微小粒子21をそれぞれ所定の極性に帯電させてノズル22の噴射口22aより噴射する。続いて、帯電した微小粒子21が噴射することにより生じる電流値を発生する磁界の強さでホール素子23により検出する。そして、検出した該電流値より、所定時間内に散布される微小粒子21の個数を計数する。

Claim (excerpt)：

複数の被散布物(21)を噴出口よりそれぞれ所定の極性に帯電させて噴射する第1の工程と、帯電した該被散布物(21)が噴射することにより生じる電流値を、発生する磁界の強さにより検出する第2の工程と、検出した該電流値より、所定時間内に散布される該被散布物(21)の個数を計数する第3の工程と、を含むことを特徴とする被散布物の計数方法。

IPC (2)：

G01N 15/02 ,  G02F 1/1339 500