Pat
J-GLOBAL ID:200903004110088613
圧電体アクチュエータの駆動方法および圧電体アクチュエータ並びにこれを用いたディスク記録再生装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003383550
Publication number (International publication number):2004180496
Application date: Nov. 13, 2003
Publication date: Jun. 24, 2004
Summary:
【課題】薄膜技術により作製した圧電体素子を用いた圧電体アクチュエータをディスク装置等に搭載した状態で分極特性の劣化を回復させて、変位量を長期間安定に持続させる方法を提供する。【解決手段】圧電体素子1が正の抗電界EC2と負の抗電界EC1との値の絶対値が異なる非対称な分極-電界ヒステリシス特性を有し、その膜厚方向で、かつ抗電界の絶対値が小さい方向に分極しており、膜厚方向に対して直交する方向に圧電体素子1を変位させて位置制御を行うための位置制御電圧Q1として、抗電界の絶対値が大きな方向に対しては、この抗電界の値の0.4以下の電界に相当する電圧を圧電体素子1の膜厚方向に印加する。さらに、分極の劣化を回復させる分極回復電圧Q2を、位置制御電圧Q1に重畳して印加、位置制御電圧Q1と切り換えて印加、または位置制御電圧Q1を印加しないときに印加することで分極の劣化を回復させる。【選択図】図1
Claim 1:
圧電体素子が、正の電界側の抗電界と負の電界側の抗電界との値の絶対値が異なる非対称な分極-電界ヒステリシス特性を有し、前記圧電体素子の膜厚方向で、かつ前記抗電界の絶対値が小さい方向に分極しており、
前記圧電体素子の膜厚方向に対して直交する方向に前記圧電体素子を変位させて位置制御を行うための位置制御電圧として、前記抗電界の絶対値が大きな方向に対しては、前記抗電界の値の0.4以下の電界に相当する電圧を前記圧電体素子の膜厚方向に印加することを特徴とする圧電体アクチュエータの駆動方法。
IPC (3):
H02N2/00
, B81B3/00
, H01L41/09
FI (4):
H02N2/00 C
, B81B3/00
, H01L41/08 K
, H01L41/08 C
F-Term (20):
5H680AA12
, 5H680BB13
, 5H680BC10
, 5H680CC03
, 5H680DD02
, 5H680DD13
, 5H680DD23
, 5H680DD27
, 5H680DD37
, 5H680DD65
, 5H680DD73
, 5H680DD93
, 5H680DD97
, 5H680EE02
, 5H680EE22
, 5H680FF17
, 5H680FF24
, 5H680FF30
, 5H680FF33
, 5H680GG02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
-
特許第2814607号公報(第3図)
-
圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-099010
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
圧電素子の駆動方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-255524
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
超音波振動子の駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-254527
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
-
ヘッド支持機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-308614
Applicant:松下電器産業株式会社
-
特開昭62-057265
-
特開平2-141245
-
特開平4-360133
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Cited by examiner (7)
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圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-099010
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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圧電素子の駆動方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-255524
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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超音波振動子の駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-254527
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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ヘッド支持機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-308614
Applicant:松下電器産業株式会社
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特開昭62-057265
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特開平2-141245
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特開平4-360133
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