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J-GLOBAL ID：200903004115294386
電子放出素子、電子源基板、及び画像形成装置の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996069002
Publication number (International publication number)：1997245698
Application date： Mar. 01, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 短時間に低コストで、且つ容易に大面積において電子放出素子を形成することができる表面伝導型電子放出素子ならびにそれを有する電子源基板および画像形成装置を提供する。【解決手段】 一対の素子電極2,3間に、導電膜4を形成するための材料の溶液を液滴の状態で付与して導電膜を形成し、そしてこの導電膜に電子放出部5を形成する電子放出素子の製造方法において、付与する液滴が形成するドットパターンの直径よりも配列ピッチが小さい複数ノズルの列を有するインクジェット方式の液滴付与手段を用い、このノズル列を素子電極間のギャップ上にギャップ方向に向けて配置し、一度に複数の材料溶液の液滴を付与する。
Claim (excerpt)：
一対の素子電極間に、導電膜を形成するための材料の溶液を液滴の状態で付与して導電膜を形成し、そしてこの導電膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法において、付与する液滴が形成するドットパターンの直径よりも配列ピッチが小さい複数ノズルの列を有するインクジェット方式の液滴付与手段を用い、このノズル列を前記素子電極間のギャップ上にギャップ方向に向けて配置し、一度に複数の前記材料溶液の液滴を付与することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 31/12 C
, B41J 3/04 103 B
