Pat

J-GLOBAL ID：200903004131384840

リソグラフ露光の監視方法および装置

Inventor： マイケル・ストレート・ヒッブス ,  ウィリアム・チャールズ・ジョイス
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995331374
Publication number (International publication number)：1996272070
Application date： Dec. 20, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 投影レンズによる結像後に、線形の光度分布を作り出すマスク構造を設けて、頻繁に集束が行われ、低速で高価な測定ツールに対する依存が少ない露光モニタを提供する。【解決手段】 露光モニタは回折効果を利用して、グレー・スケール・フィーチャを結像するためのマスク上に配置された異なる光学濃度の接合領域を有する。臨界フィーチャ・サイズに対してグレー・スケール・フィーチャのサイズを較正した後、グレー・スケール・フィーチャを結像して、露光による臨界フィーチャをモニタする。

Claim (excerpt)：

複数の接合領域からなり、該複数の接合領域の各々がそのすぐ隣の前記接合領域の各々のものと異なる光学濃度を有している、グレー・スケール・フィーチャを結像するための露光モニタ。

IPC (2)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 514 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• マスクおよびパタン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-149835   Applicant：日本電信電話株式会社