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J-GLOBAL ID：200903004136829824

容器の移動装置および方法

Inventor：
高口 玲

About 高口 玲


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 萩原 康司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999196688
Publication number (International publication number)：2001024043
Application date： Jul. 09, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 安全性が高く,かつ簡素化された容器の移動装置を提供する。【解決手段】 ウェハWを収納するキャリアCを移動させる移動装置20であって,キャリアCが搬入される搬入ステージ21と,キャリアCが搬出される搬出ステージ22と,キャリアCからのウェハWの取り出しとキャリアCへのウェハWの収納が行われる取出収納ステージ23と,これら搬入ステージ21,搬出ステージ22,取出収納ステージ23の間でキャリアCを水平移動させる移動テーブル24とを備え,移動テーブル24を動かす移動手段40を,搬入ステージ21,搬出ステージ22,取出収納ステージ23の下方に設けた。
Claim (excerpt)：
並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって,前記容器が搬入される搬入ステージと,前記容器からの基板の取出が行われる取出ステージと,前記搬入ステージから取出ステージに容器を移動させる移動テーブルとを備えていることを特徴とする,容器の移動装置。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535
FI (2)：
H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 535
F-Term (28)：
3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK12 ,  3F022LL12 ,  3F022LL19 ,  3F022MM01 ,  3F022MM51 ,  3F022QQ12 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA06 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA54 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA22 ,  5F031JA43 ,  5F031MA23 ,  5F031NA09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 処理システム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-062905   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-272875   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-152678   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
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