Pat

J-GLOBAL ID：200903004144627416

有機鉛化合物及び有機金属化学蒸着用原料溶液

Inventor： 齋 篤 ,  小木 勝実
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997000786
Publication number (International publication number)：1998195086
Application date： Jan. 07, 1997
Publication date： Jul. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 気化特性、気化安定性に優れ、高い成膜速度で鉛系薄膜を成膜することができる有機金属化学蒸着用原料として有用な新規有機鉛化合物及び有機金属化学蒸着用原料溶液を提供する。【解決手段】 下記一般式(I) で表される有機鉛化合物。この有機鉛化合物を有機溶剤に溶解させてなる有機金属化学蒸着用原料溶液。【化12】(上記一般式(I) 中、Rはメチル基又はt-ブチル基を示し、Aはエチレンジアミン、テトラエチレンジアミン又はテトラエチレンペンタミンを示す。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(I) で表される有機鉛化合物。【化1】(上記一般式(I) 中、Rはメチル基又はt-ブチル基を示し、Aはエチレンジアミン、テトラエチレンジアミン又はテトラエチレンペンタミンを示す。)

IPC (5)：

C07F 7/24 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/205

FI (5)：

C07F 7/24 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/314 A ,  H01L 21/205