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J-GLOBAL ID：200903004148398616

光熱変位計測による試料評価方法

Inventor： 高松 弘行 ,  住江 伸吾 ,  森本 勉
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993172948
Publication number (International publication number)：1995027746
Application date： Jul. 13, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は,励起光の照射位置と測定光の照射位置のずれによる影響や,試料の温度変化,プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といった外乱の影響を受けず,真の熱膨張振動を計測できる光熱変位計測による試料評価方法の提供を目的とする。【構成】 試料7に相対的に強度変調された例えば第1の光(ビーム1)を励起光として照射し該試料7に光熱変位(熱膨張振動)を誘起させると共に,その近傍に第2の光(ビーム2)を照射して上記ビーム1と上記ビーム2の上記試料7からの反射光を干渉させ,この干渉光の位相に基づいて,上記試料7を評価する。

Claim (excerpt)：

試料に光を照射し,それによる試料の光熱変位を計測することにより試料を評価する方法において,光の振動周波数が異なる2つの光の内少なくとも1つを強度変調し,それぞれを上記試料の異なる位置に照射し,上記試料からの反射光を干渉させ,この干渉光の位相に基づいて上記試料を評価することとした光熱変位計測による試料評価方法。

IPC (6)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/16 ,  G01J 9/02 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/45 ,  G01N 25/72