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J-GLOBAL ID：200903004149518623

電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器

Inventor：
福原 圭司

About 福原 圭司


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999112526
Publication number (International publication number)：2000305484
Application date： Apr. 20, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ポリシリコン薄膜からなる配線を有する液晶装置等の電気光学装置において、ポリシリコン薄膜からなる配線を低抵抗化し、高品質の画像表示を可能にする。【解決手段】 液晶装置は、一対の基板間に挟持された液晶層(50)と、TFTアレイ基板(10)にマトリクス状に設けられた画素電極(9a)と、走査線(3a)及び容量線(3b)を備える。ポリシリコン薄膜からなる走査線(3a)及び容量線(3b)の上に、導電性の高融点金属又はその金属シリサイド等からなる膜を島状に設けることで、配線を低抵抗化を図る。
Claim (excerpt)：
一対の基板間に電気光学物質が挟持されてなり、該一対の基板の一方の基板上には、マトリクス状に配置された複数の画素電極と、該複数の画素電極を夫々駆動する複数の薄膜トランジスタと、該複数の薄膜トランジスタに夫々接続されており相交差する複数のデータ線及び複数の走査線とを備えており、シリコン薄膜からなる配線上に、導電性の高融点金属又はその金属シリサイドからなる膜を島状に設けたことを特徴とする電気光学装置。
IPC (3)：
G09F 9/30 348 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/136 500
FI (3)：
G09F 9/30 348 Z ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/136 500
F-Term (44)：
2H092GA29 ,  2H092GA59 ,  2H092HA06 ,  2H092HA27 ,  2H092JA26 ,  2H092JA46 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092JB51 ,  2H092JB67 ,  2H092KA04 ,  2H092KA10 ,  2H092KB25 ,  2H092MA07 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA25 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092NA01 ,  2H092NA24 ,  2H092NA28 ,  2H092PA02 ,  2H092PA06 ,  2H092PA07 ,  2H092PA10 ,  2H092PA11 ,  2H092PA13 ,  2H092QA07 ,  2H092QA10 ,  2H092RA05 ,  5C094AA03 ,  5C094AA09 ,  5C094AA21 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EA10 ,  5C094FB12 ,  5C094GB01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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