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J-GLOBAL ID：200903004161725561

アルミニウムの表面処理方法

Inventor： 小池 国彦 ,  井上 吾一 ,  久本 淳 ,  和田 浩司 ,  田中 敏行
Applicant, Patent owner： 岩谷産業株式会社 ,  株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 鈴江 正二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007252799
Publication number (International publication number)：2008007861
Application date： Sep. 28, 2007
Publication date： Jan. 17, 2008
Summary：

【課題】アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に効率的な酸化皮膜を形成する方法を提供する。【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金の表面にオゾンガスによって酸化皮膜を形成する方法であって、200〜450°Cに保持されているアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に、オゾン濃度が20〜100vol%のオゾン含有ガスを接触させて酸化皮膜を形成する事を特徴とするものであり、CVD装置の場合には、該装置内を減圧して加熱した状態でオゾン含有ガスを供給することによって装置内のアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に酸化皮膜を形成する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

アルミニウム又はアルミニウム合金にオゾンガスを作用させて該アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に酸化皮膜を形成するアルミニウムの表面処理方法であって、 200〜450°Cに保持されているアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に、オゾン濃度が20〜100vol%のオゾン含有ガスを接触させることにより、前記アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に酸化皮膜を形成することを特徴とするアルミニウムの表面処理方法。

IPC (1)：

C23C 8/12

FI (1)：

C23C8/12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第3018029号公報(特許請求の範囲の記載及び実施例の記載参照)
  
• 特許第3250002号公報(特許請求の範囲の記載及び実施例の記載参照)