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J-GLOBAL ID:200903004171031290

表面汚染検査装置、該検査装置のスミヤパッド及び該スミヤパッドのスミヤろ紙自動交換装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山口 巖
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993144118
Publication number (International publication number):1995005264
Application date: Jun. 16, 1993
Publication date: Jan. 10, 1995
Summary:
【要約】【目的】スミヤ(拭き取り)方式の放射能による表面汚染検査装置においてろ紙が装着されていないスミヤパッドによるスミヤ工程への移行を防止する。【構成】スミヤろ紙自動交換装置2のスミヤパッド挿入口近傍で、挿入口から引き出されたスミヤパッド1のパッドヘッド部位を見込む位置に反射式光電センサ3を設けるか、あるいは、スミヤパッド1のパッド胴13のろ紙を見込む部位に反射式光電センサ3を埋め込んでおき、ろ紙4の交換工程が終了したとき、前記反射式光電センサの出力を正規にろ紙が装着された場合の出力値と比較することによってろ紙4の有無を判定する。
Claim (excerpt):
スミヤパッドを有するスミヤ方式の表面汚染検査装置であって、反射式光電センサと、この反射式光電センサの出力によって前記スミヤパッド上のろ紙の有無の判定を実行する手段と、を備えたことを特徴とする表面汚染検査装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平2-251783

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