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J-GLOBAL ID:200903004176031701

高温炉用の炉内温度測定器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 守山 辰雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995086112
Publication number (International publication number):1996261844
Application date: Mar. 17, 1995
Publication date: Oct. 11, 1996
Summary:
【要約】【目的】 1000°C以上の高温に加熱される高温炉内の温度も正確に測定できる炉内温度測定器を提供する。【構成】 炉体11の外側に加熱ヒータ12と炉外温度測定器15を、炉体11内に炉内温度測定器20を設け、製造運転に先立って、加熱ヒータ12により炉体11を加熱して炉体11内外の温度を測定して校正データを作成し、実際の製造運転では炉外温度測定器15のみの計測温度により加熱制御が行われる加熱炉であって、炉内温度測定器20を、炉炭化ケイ素またはアルミナからなる保護管21を炉体11内部に突設し、この保護管21内に熱電対素線22a,22bを絶縁管23a,23bにより被覆して挿通して構成した。
Claim (excerpt):
炉体内部に保護管を突設し、該保護管内に挿入した熱電対により炉内温度を測定する高温炉用の炉内温度測定器において、前記保護管を炭化ケイ素またはアルミナから形成したことを特徴とする高温炉用の炉内温度測定器。
IPC (4):
G01K 7/02 ,  G01K 1/08 ,  H01L 21/66 ,  C23C 16/44
FI (4):
G01K 7/02 C ,  G01K 1/08 P ,  H01L 21/66 H ,  C23C 16/44 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平3-046527
  • 特開昭63-241922
  • 特開平3-046527
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