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J-GLOBAL ID：200903004177366103

露光装置

Inventor：
河守 誠

About 河守 誠


Applicant, Patent owner：
国際技術開発株式会社

About 国際技術開発株式会社


Agent (3)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004138307
Publication number (International publication number)：2005321505
Application date： May. 07, 2004
Publication date： Nov. 17, 2005
Summary：
【課題】 継ぎ目の無い画像を露光することのできる露光装置を提供すること。【解決手段】 図5(A)に示すように2列で露光する場合には、露光用コンピュータ68は、第1ライン露光器64の光ビームLの振り角と、第2ライン露光器66の光ビームLの振り角とを同じに設定する。このとき、第1ライン露光器64、及び第2ライン露光器66共に、露光用コンピュータ68から入力する画像信号は同じもので良い。また、図5(B)に示すように3列で露光する場合には、露光用コンピュータ68は、第1ライン露光器64のLの振り角を、第2ライン露光器66の光ビームLの振り角4よりも大きくし、第1ライン露光器64は2列分の露光を行い、第2ライン露光器66は1列分の露光を行うようにする。【選択図】 図5
Claim 1：
長尺状の感光材料を長手方向に搬送する搬送手段と、 前記感光材料の搬送経路の幅方向に沿って配置され、画像データに基づいて前記感光材料の幅方向にライン状に光ビームを照射するように走査露光を行う複数のライン露光器と、 前記複数のライン露光器を制御する制御装置と、 を備え、 前記感光材料の幅方向に複数個の画像を露光する際に、前記ライン露光器が整数個の画像を露光するように前記制御手段は前記ライン露光器を制御する、ことを特徴とする露光装置。
IPC (1)：
G03F7/20
FI (1)：
G03F7/20 505
F-Term (9)：
2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BA06 ,  2H097CA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA17 ,  2H097DB12 ,  2H097JA03 ,  2H097LA09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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