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J-GLOBAL ID：200903004191492820

切換弁装置

Inventor：
玉木 茂男

About 玉木 茂男

, 
梅田 浩輔

About 梅田 浩輔


Applicant, Patent owner：
黒田精工株式会社

About 黒田精工株式会社


Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002125559
Publication number (International publication number)：2003311671
Application date： Apr. 26, 2002
Publication date： Nov. 05, 2003
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、半導体チップ等の部材の真空吸着に使用される切換弁装置に関し、真空破壊を迅速かつスムーズに行うことを目的とする。【解決手段】 真空吸着用の真空吸着用切換弁機能と、真空破壊用の真空破壊用切換弁機能と、前記真空吸着用切換弁機能の動作に連動して、前記真空吸着用切換弁機能がオフの時に大気側への通路を開放し、オンの時に大気側への通路を閉止する大気開放用切換弁機能とを備え、前記真空吸着用切換弁機能、前記真空破壊用切換弁機能および前記大気開放用切換弁機能を、本体部に一体的に組み込んでなることを特徴とする。
Claim 1：
真空吸着用の真空吸着用切換弁機能と、真空破壊用の真空破壊用切換弁機能と、前記真空吸着用切換弁機能の動作に連動して、前記真空吸着用切換弁機能がオフの時に大気側への通路を開放し、オンの時に大気側への通路を閉止する大気開放用切換弁機能とを備え、前記真空吸着用切換弁機能、前記真空破壊用切換弁機能および前記大気開放用切換弁機能を、本体部に一体的に組み込んでなることを特徴とする切換弁装置。
IPC (5)：
B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/50 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/68
FI (5)：
B25J 15/06 B ,  B65G 49/06 A ,  H01L 21/50 C ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/68 B
F-Term (13)：
3C007AS01 ,  3C007AS08 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FS03 ,  3C007FU08 ,  5F031CA13 ,  5F031FA05 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA23 ,  5F047FA08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (3)

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