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J-GLOBAL ID：200903004205993232

ガス供給装置

Inventor： 桶田 幸宏
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992181710
Publication number (International publication number)：1994005526
Application date： Jun. 16, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 バルブの種類の如何にかかわらず常に的確にバルブ開閉を行い得るようにしたガス供給装置を提供する。【構成】 バルブ開閉のための駆動部8と、駆動部8と連結する回転伝達機構9と、連結部材7を介して回転伝達機構9と連結すると共にガス供給シリンダ1のバルブ4に係合するハンドル5と、ハンドル5からバルブ4へ付与される回転トルクを検出するトルク検知器10と、駆動部8及びトルク検知器10にそれぞれ接続していて駆動部8の作動制御を行うようにした制御部11とを備えている。トルク検知器10の検出信号によりバルブ4に所定の回転トルクを付与し、この回転トルクでバルブ4の開閉を行うようにしたものである。

Claim (excerpt)：

バルブ開閉のための駆動部と、この駆動部と連結する回転伝達機構と、連結部材を介して上記回転伝達機構と連結すると共にガス供給シリンダのバルブに係合するハンドルと、このハンドルから上記バルブへ付与される回転トルクを検出するトルク検知器と、上記駆動部及び上記トルク検知器にそれぞれ接続していて上記駆動部の作動制御を行うようにした制御部とを備え、上記トルク検知器の検出信号により上記バルブを開閉するようにしたガス供給装置。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/31