Pat

J-GLOBAL ID：200903004211167808

高真空用アクチュエータ

Inventor： 菅野 誠一郎 ,  橘内 浩之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994036728
Publication number (International publication number)：1995245333
Application date： Mar. 08, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【構成】高圧側雰囲気内の回転体の中心にシャフト19を配置し、シャフト19を囲むように中空のシャフト30を同軸に複数個設置する。また、雰囲気を隔絶する隔壁の一部を、高圧側雰囲気内の複数個の回転体間でくびれ構造とする。そして、このくびれ部分で独立して分解可能にし、このくびれ部分に低圧側雰囲気内の回転体を支持する軸受を設置する。更に隔壁に、低圧側の回転体を隔壁と平行に支持する軸受を設置する。【効果】装置を真空チャンバなどに取り付ける際の取り扱いが容易になる。また、回転体を支持する軸受に薄肉軸受を用いる必要はなく、装置の製造コストを下げることができる。

Claim (excerpt)：

雰囲気の異なる空間を隔絶する隔壁を備え、高圧側雰囲気内に永久磁石を保持した状態で外部の動力源により独立して設置された複数個の第一の回転体と、前記第一の回転体に保持された永久磁石と前記隔壁を通して磁気的に結合して低圧側雰囲気内に設置された第二の回転体を含む複数軸動力伝達装置において、外部の動力を前記複数個の第一の回転体に伝えるシャフトは、一つを前記第一の回転体の中心に配置し、この中心のシャフトを囲むように中空のシャフトを同軸に複数段配置することを特徴とする高真空用アクチュエータ。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B25J 19/00 ,  H02K 49/06 ,  H02K 49/10